분당 세제곱센티미터 (cm³/min)

분당 세제곱센티미터는 1 분마다 어떤 자리를 지나는 1 세제곱센티미터에 해당하는 부피 흐름의 단위입니다. 기호는 cm³/min 이며, 1 세제곱센티미터가 1 밀리리터이므로 mL/min 도 같은 뜻입니다. 실험실과 반도체 산업에서 다스려진 기체 흐름의 표준 단위입니다.

그 산업은 저만의 줄임말을 주었습니다. sccm, 곧 표준 상태의 분당 세제곱센티미터입니다. 표준이라는 말이 중요한 것은, 기체가 온도와 압력에 따라 부풀고 오그라들기에 조건을 못 박기 전에는 부피 흐름이 아무 뜻도 없기 때문입니다. 50 sccm 으로 맞춘 질량 흐름 제어기는 아래쪽 압력이 어찌 되든 분당 일정한 분자 수를 보냅니다. 쌓는 공정이나 깎는 공정이 요구하는 것이 바로 그것입니다.

플라스마 깎기 장치를 지나는 규소 원판은 그런 제어기를 여럿 한꺼번에 만납니다. 아르곤은 몇백 sccm, 반응하는 플루오린 화합물은 몇십, 산소는 몇 단위입니다. 공정을 정하는 차림표는 실은 이 값들을 시간에 따라 늘어놓은 목록입니다. 다른 공장에서 공정을 되살린다는 것은 같은 흐름을 만든다는 뜻입니다.

가름 기술과 기체 분석은 이 단위를 낮은 쪽에서 씁니다. 모세관 기둥을 지나는 나르는 헬륨은 분당 1 이나 2 세제곱센티미터, 불꽃 검출기는 수소를 30, 공기를 300 으로 태우며, 질량 분광계의 들목은 진공 펌프가 감당할 수 있는 흐름을 축으로 설계됩니다.

액체도 여기 나타납니다. 특히 분석 화학과 의학에서 그렇습니다. 높은 성능의 액체 가름 펌프는 분당 0.2 에서 2 세제곱센티미터로 돌고, 한 시간에 100 밀리리터를 넣는 정맥 주입은 분당 1.67 세제곱센티미터입니다. 두 경우 모두 작고 한결같은 비율이야말로 결과를 되살리게 해 줍니다.

분당 60 세제곱센티미터는 초당 1 세제곱센티미터이고, 천이면 분당 1 리터입니다. 그러니 500 sccm 으로 맞춘 흔한 제어기는 분당 반 리터의 기체를 보냅니다. 청량음료 병만 한 부피이며, 눈에 보이지 않는 기체 관이 실제로 무엇을 나르는지 그려 보는 데 도움이 됩니다.

분당 1 세제곱센티미터는 분당 1 밀리리터, 초당 약 0.01667 세제곱센티미터, 또는 분당 0.001 리터와 같습니다.

분당 세제곱센티미터 변환표