Centimètre cube par minute (cm³/min)

Le centimètre cube par minute est une unité de débit volumique valant un centimètre cube passant par un point chaque minute. Son symbole est cm³/min et, comme un centimètre cube vaut un millilitre, mL/min signifie la même chose. C’est l’unité usuelle du débit de gaz réglé dans les laboratoires et dans l’industrie des semi-conducteurs.

Cette industrie lui a donné une abréviation propre : sccm, centimètres cubes normaux par minute. Le mot normal importe, car un gaz se dilate et se contracte avec la température et la pression, de sorte qu’un débit volumique ne signifie rien tant que les conditions ne sont pas fixées. Un régulateur de débit massique réglé à 50 sccm livre un nombre fixe de molécules par minute quoi que fasse la pression en aval, ce qu’exige précisément un dépôt ou une gravure.

Une plaquette de silicium traversant un graveur à plasma rencontre plusieurs de ces régulateurs à la fois — argon à quelques centaines de sccm, un composé fluoré réactif à quelques dizaines, oxygène à quelques unités — et la recette qui définit le procédé est pour l’essentiel une liste de ces nombres au fil du temps. Reproduire un procédé dans une autre usine, c’est reproduire les mêmes débits.

La chromatographie et l’analyse des gaz emploient l’unité dans le bas de sa gamme. L’hélium vecteur dans une colonne capillaire circule à un ou deux centimètres cubes par minute, un détecteur à flamme brûle de l’hydrogène à trente et de l’air à trois cents, et l’entrée d’un spectromètre de masse se conçoit autour d’un débit que les pompes à vide peuvent supporter.

Les liquides paraissent ici aussi, surtout en chimie analytique et en médecine. Une pompe de chromatographie liquide à haute performance tourne à 0,2 ou 2 centimètres cubes par minute, et une perfusion de 100 millilitres en une heure vaut 1,67 centimètre cube par minute. Dans les deux cas, c’est le débit faible et régulier qui permet de reproduire le résultat.

Soixante centimètres cubes par minute font un centimètre cube par seconde, et mille font un litre par minute. Un régulateur courant réglé à 500 sccm livre donc un demi-litre de gaz par minute — à peu près le volume d’une bouteille de boisson, image utile de ce que transporte réellement une conduite de gaz invisible.

Un centimètre cube par minute équivaut à un millilitre par minute, à environ 0,01667 centimètre cube par seconde ou à 0,001 litre par minute.

Table de conversion du Centimètre cube par minute