立方センチメートル毎分 (cm³/min)

毎分 立方センチメートル は、1 分 ごとに ある 点 を通る 1 立方センチメートル にあたる 体積 流量 の単位です。記号は cm³/min であり、1 立方センチメートル は 1 ミリリットル ですから mL/min も 同じ 意味 です。実験 室 と 半導体 の 産業 における、制御 された 気体 の 流れ の 標準 の単位です。

その 産業 は 独自 の 略号 を与えました。sccm、すなわち 標準 状態 の 毎分 立方センチメートル です。標準 という 語 が 大事 なのは、気体 が 温度 と 圧力 で 膨らみ 縮む ため、条件 を定めない かぎり 体積 の 流れ が 何 も 意味 しない からです。50 sccm に 設定 した 質量 流量 の 制御器 は、下流 の 圧力 が どう 動こうと 毎分 一定 の 分子 数 を送ります。積む 工程 や 削る 工程 が 求める のは まさに それ です。

プラズマ の 削り 装置 を通る ケイ素 の 円板 は、そうした 制御器 に いくつも 同時 に出あいます。アルゴン は 数百 sccm、反応 する フッ素 の 化合物 は 数十、酸素 は 数 単位 です。工程 を定める 手順 書 は、要するに これら の 数値 を 時間 に 沿って 並べた 一覧 です。別 の 工場 で 工程 を 再現 する とは、同じ 流れ を作ることです。

分離 の 技術 と 気体 の 分析 は この単位を 低い ほう で使います。毛細 の 柱 を通る 運び手 の ヘリウム は 毎分 1 か 2 立方センチメートル、炎 の 検出器 は 水素 を 30、空気 を 300 で燃やし、質量 の 分光 計 の 入口 は、真空 の ポンプ が さばける 流れ を軸 に 設計 されます。

液体 も ここ に現れます。とりわけ 分析 の 化学 と 医学 においてです。高い 性能 の 液体 分離 の ポンプ は 毎分 0.2 から 2 立方センチメートル で動き、1 時間 で 100 ミリリットル の 静脈 への 点滴 は 毎分 1.67 立方センチメートル です。いずれ も、小さく 一定 の 割合 こそ が 結果 の 再現 を可能にします。

毎分 60 立方センチメートル は 毎秒 1 立方センチメートル であり、千 で 毎分 1 リットル です。ですから 500 sccm に した ふつう の 制御器 は 毎分 半 リットル の 気体 を送っています。清涼 飲料 の 瓶 ほど の かさ であり、目 に見えない 配管 が 実際 に 運ぶ もの を 思い描く のに 役立ちます。

毎分 1 立方センチメートル は、毎分 1 ミリリットル、毎秒 およそ 0.01667 立方センチメートル、あるいは 毎分 0.001 リットル に等しくなります。

立方センチメートル毎分の換算表