Kubikzentimeter pro Minute (cm³/min)

Der Kubikzentimeter je Minute ist eine Einheit des Volumenstroms von einem Kubikzentimeter, der in jeder Minute eine Stelle passiert. Sein Zeichen ist cm³/min, und da ein Kubikzentimeter ein Milliliter ist, bedeutet mL/min dasselbe. Er ist die übliche Einheit des geregelten Gasstroms in Laboren und in der Halbleiterfertigung.

Diese Fertigung gab ihm ein eigenes Kürzel: sccm, Normkubikzentimeter je Minute. Das Wort Norm zählt, denn ein Gas dehnt sich mit Temperatur und Druck aus und zieht sich zusammen, sodass ein Volumenstrom nichts bedeutet, ehe die Bedingungen festgelegt sind. Ein auf 50 sccm gestellter Massendurchflussregler liefert eine feste Zahl Moleküle je Minute, gleichgültig was der Druck stromab tut — genau das verlangt ein Abscheide- oder Ätzverfahren.

Eine Siliziumscheibe, die durch einen Plasmaätzer läuft, begegnet mehreren solchen Reglern zugleich — Argon mit einigen hundert sccm, eine reaktive Fluorverbindung mit einigen zehn, Sauerstoff mit wenigen — und das Rezept, das den Prozess festlegt, ist im Kern eine Liste dieser Zahlen über der Zeit. Ein Verfahren in einem anderen Werk zu wiederholen heißt, dieselben Ströme herzustellen.

Chromatographie und Gasanalyse nutzen die Einheit am unteren Ende. Helium als Trägergas durch eine Kapillarsäule strömt mit ein bis zwei Kubikzentimetern je Minute, ein Flammennachweiser verbrennt Wasserstoff mit dreißig und Luft mit dreihundert, und der Einlass eines Massenspektrometers wird um einen Strom herum entworfen, den die Vakuumpumpen bewältigen.

Auch Flüssigkeiten erscheinen hier, zumal in der analytischen Chemie und in der Medizin. Eine Pumpe der Hochleistungsflüssigchromatographie läuft mit 0,2 bis 2 Kubikzentimetern je Minute, und eine Infusion von 100 Millilitern über eine Stunde sind 1,67 Kubikzentimeter je Minute. In beiden Fällen erlaubt gerade die kleine, gleichmäßige Rate, das Ergebnis zu wiederholen.

Sechzig Kubikzentimeter je Minute sind ein Kubikzentimeter je Sekunde, und tausend sind ein Liter je Minute. Ein üblicher, auf 500 sccm gestellter Regler liefert also einen halben Liter Gas je Minute — etwa das Volumen einer Getränkeflasche, ein hilfreiches Bild dafür, was eine unsichtbare Gasleitung wirklich führt.

Ein Kubikzentimeter je Minute entspricht einem Milliliter je Minute, etwa 0,01667 Kubikzentimetern je Sekunde oder 0,001 Litern je Minute.

Umrechnungstabelle für Kubikzentimeter pro Minute