Kubikcentimeter per minut (cm³/min)

Kubikcentimeter pr. minut er en enhed for volumenstrøm svarende til én kubikcentimeter, der passerer et punkt hvert minut. Symbolet er cm³/min, og da en kubikcentimeter er en milliliter, betyder mL/min det samme. Den er den gængse enhed for reguleret gasstrøm i laboratorier og i halvlederindustrien.

Den industri gav den en forkortelse for sig: sccm, normalkubikcentimeter pr. minut. Ordet normal betyder noget, for en gas udvider sig og trækker sig sammen med temperatur og tryk, så en volumenstrøm siger intet, før forholdene er fastlagt. En massestrømsregulator sat til 50 sccm leverer et fast antal molekyler pr. minut, uanset hvad trykket nedstrøms gør, og det er netop, hvad en pålægnings- eller ætseproces kræver.

En siliciumskive, der går gennem en plasmaætser, møder flere sådanne regulatorer på én gang — argon ved nogle hundrede sccm, en reaktiv fluorforbindelse ved titals, ilt ved nogle få — og den opskrift, der fastlægger processen, er i bund og grund en liste over disse tal mod tiden. At gentage en proces i en anden fabrik betyder at genskabe de samme strømme.

Kromatografi og gasanalyse bruger enheden i dens nedre del. Bæregassen helium gennem en kapillarsøjle går ved en til to kubikcentimeter pr. minut, en flammedetektor brænder brint ved tredive og luft ved tre hundrede, og indløbet på et massespektrometer udformes omkring en strøm, som vakuumpumperne kan magte.

Væsker optræder også her, især i analytisk kemi og i medicin. En pumpe til højtydende væskekromatografi går ved 0,2 til 2 kubikcentimeter pr. minut, og en infusion af 100 milliliter over en time er 1,67 kubikcentimeter pr. minut. I begge tilfælde er det den lille, jævne takt, der gør resultatet gentageligt.

Tres kubikcentimeter pr. minut er én kubikcentimeter pr. sekund, og tusind er én liter pr. minut. En almindelig regulator sat til 500 sccm leverer altså en halv liter gas i minuttet — omtrent rumfanget af en sodavandsflaske, et nyttigt billede af, hvad en usynlig gasledning faktisk fører.

Én kubikcentimeter pr. minut svarer til én milliliter pr. minut, omkring 0,01667 kubikcentimeter pr. sekund eller 0,001 liter pr. minut.

Omregningstabel for Kubikcentimeter per minut